| 发明名称 |
METHOD OF POSITIONING BOARD FOR CARRYING MASK EXPOSURE DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5785285(A) |
申请公布日期 |
1982.05.27 |
| 申请号 |
JP19800161716 |
申请日期 |
1980.11.17 |
| 申请人 |
FUJITSU KK |
发明人 |
SAKAI HIROBUMI;YOSHITOSHI HIROYUKI |
| 分类号 |
H05K13/04;B65H9/00;G03F7/20;G03F9/00;H05K3/00 |
主分类号 |
H05K13/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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