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发明名称 METHOD OF CRYSTALLIZING FILM
摘要
申请公布号 JPS5784132(A) 申请公布日期 1982.05.26
申请号 JP19810146485 申请日期 1981.09.18
申请人 RUSHIAN DEIEEGO ROODO 发明人 RUSHIAN DEIEEGO ROODO
分类号 H01L31/04;B23K26/00;C30B1/02;C30B1/08;C30B21/02;C30B29/02;C30B29/40;C30B29/48;H01L21/20;H01L21/268 主分类号 H01L31/04
代理机构 代理人
主权项
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