发明名称 METHOD FOR DETERMINING ORIENTATION OF SEMICONDUCTOR CRYSTALS
摘要
申请公布号 SU574011(A1) 申请公布日期 1982.05.23
申请号 SU19762347578 申请日期 1976.04.12
申请人 INSTFIZ AN BSSR 发明人 GRIBKOVSKIJ V.P.,SU;PARASHCHUK V.V.,SU;YABLONSKIJ G.P.,SU
分类号 H01L21/66;G01R31/26;(IPC1-7):G01R31/26 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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