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发明名称 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM PERIODISCHEN PLASMAAETZEN
摘要
申请公布号 DD155181(A1) 申请公布日期 1982.05.19
申请号 DD19800225884 申请日期 1980.12.09
申请人 VOIGT,REINHARD,DD;SCHADE,KLAUS,DD;TEUBNER,WINFRIED,DD;FENDLER,REINHARD,DD;MENZEL,SIEGFRIED,DD 发明人 VOIGT,REINHARD,DD;SCHADE,KLAUS,DD;TEUBNER,WINFRIED,DD;FENDLER,REINHARD,DD;MENZEL,SIEGFRIED,DD
分类号 (IPC1-7):C23C15/00 主分类号 (IPC1-7):C23C15/00
代理机构 代理人
主权项
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