| 发明名称 |
PHYSICAL VAPOR DEPOSITION METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5779169(A) |
申请公布日期 |
1982.05.18 |
| 申请号 |
JP19800156584 |
申请日期 |
1980.11.06 |
| 申请人 |
SUMITOMO DENKI KOGYO KK |
发明人 |
DOI YOSHIHIKO;MAEDA YOSHIKI;KOBAYASHI TERUNORI |
| 分类号 |
C23F4/00;B23P15/28;C23C14/02;C23C14/06;C23C14/08;C23C30/00 |
主分类号 |
C23F4/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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