发明名称 METHOD OF PRODUCING INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPS5779650(A) 申请公布日期 1982.05.18
申请号 JP19810144035 申请日期 1981.09.14
申请人 GENERAL ELECTRIC CO 发明人 MARIO GETSUZO
分类号 H01L29/78;H01L21/316;H01L21/32;H01L21/76;H01L21/762 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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