发明名称 WERKWIJZE VOOR HET DETECTEREN VAN DEELTJES OP HET MATERIAAL EN INRICHTING VOOR HET TOEPASSEN VAN DEZE WERKWIJZE.
摘要
申请公布号 NL8103083(A) 申请公布日期 1982.05.17
申请号 NL19810003083 申请日期 1981.06.25
申请人 HAMAMATSU SYSTEMS, INC. TE WALTHAM, MASSACHUSETTS, VER. ST. V. AM. 发明人
分类号 G01B11/24;G01B11/30;G01N21/47;H01L21/66;(IPC1-7):G01N15/02;G01N21/88;G06M11/00 主分类号 G01B11/24
代理机构 代理人
主权项
地址