发明名称 |
WERKWIJZE VOOR HET DETECTEREN VAN DEELTJES OP HET MATERIAAL EN INRICHTING VOOR HET TOEPASSEN VAN DEZE WERKWIJZE. |
摘要 |
|
申请公布号 |
NL8103083(A) |
申请公布日期 |
1982.05.17 |
申请号 |
NL19810003083 |
申请日期 |
1981.06.25 |
申请人 |
HAMAMATSU SYSTEMS, INC. TE WALTHAM, MASSACHUSETTS, VER. ST. V. AM. |
发明人 |
|
分类号 |
G01B11/24;G01B11/30;G01N21/47;H01L21/66;(IPC1-7):G01N15/02;G01N21/88;G06M11/00 |
主分类号 |
G01B11/24 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|