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发明名称 METHOD FOR OPENING OF CONTACT WINDOWSIN SILICA
摘要
申请公布号 BG32094(A1) 申请公布日期 1982.05.14
申请号 BG19800049668 申请日期 1980.11.14
申请人 SHPANGENBERG,BERND;GORANCHEV,BOZHIDAR G.;ORLINOV,VIKTOR I.;DARAKCHIEV,IVAN S. 发明人 SPANGENBERG,BERND;GORANCHEV,BOZHIDAR G.;ORLINOV,VIKTOR I.;DARAKCHIEV,IVAN S.
分类号 H01L21/308;(IPC1-7):H01L21/308 主分类号 H01L21/308
代理机构 代理人
主权项
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