| 发明名称 |
Verfahren zum Herstellen duenner Oxidschichten auf Halbleiterkoerpern oder anderen Substraten |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE1521538(A1) |
申请公布日期 |
1969.09.11 |
| 申请号 |
DE19661521538 |
申请日期 |
1966.02.25 |
| 申请人 |
TELEFUNKEN PATENTVERWERTUNGSGESELLSCHAFT MBH |
发明人 |
KUISL,DIPL.-CHEM.DR.MAX |
| 分类号 |
C04B41/50;C23C16/44;C23C16/455;H01L23/29 |
主分类号 |
C04B41/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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