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发明名称 PROCEDE DE PREPARATION DE FILMS POLYCRISTALLINS SEMICONDUCTEURS COMPOSES OU ELEMENTAIRES ET FILMS AINSI OBTENUS
摘要
申请公布号 LU82690(A1) 申请公布日期 1982.05.10
申请号 LU19800082690 申请日期 1980.08.05
申请人 LAUDE LUCIEN D 发明人 LAUDE LUCIEN D
分类号 H01L31/04;C30B1/02;C30B1/08;H01L21/20;H01L21/263;H01L21/268;H01L21/363;H01L21/42;(IPC1-7):H01L/ 主分类号 H01L31/04
代理机构 代理人
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