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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR SPUTTERING CONDUCTIVE MATERIALS
摘要
申请公布号 CA837594(A) 申请公布日期 1970.03.24
申请号 CAD837594 申请日期
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 PIETER D. DAVIDSE;LAWRENCE R. KOSTER
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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