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发明名称 METHOD OF MEASUREMENT OF CHARACTERISTICS OF RELATIVE EFFICIENCY OF CATHODE SPUTTERING OF MATERIALSITEL'NOSTI IONNOGO RASPYLENIJA MATERIALOV
摘要
申请公布号 PL121162(B2) 申请公布日期 1982.04.30
申请号 PL19800222381 申请日期 1980.03.01
申请人 发明人
分类号 G01N;G01N33/00;(IPC1-7):G01N33/00 主分类号 G01N
代理机构 代理人
主权项
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