发明名称 PREPARATION OF DYNANIC PRESSURE GENERATING GROOVE BY MASK ETCHING
摘要
申请公布号 JPS5770276(A) 申请公布日期 1982.04.30
申请号 JP19800144408 申请日期 1980.10.17
申请人 NIPPON SEIKO KK 发明人 FURUMURA KIYOUSABUROU;SUGI HIROMI;ASAI HIROMITSU
分类号 C23F1/00 主分类号 C23F1/00
代理机构 代理人
主权项
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