发明名称
摘要
申请公布号 DE2422138(C2) 申请公布日期 1982.04.29
申请号 DE19742422138 申请日期 1974.05.08
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., 10504 ARMONK, N.Y., US 发明人 CHAPPELOW, RONALD EDWARD, SALT POINT, N.Y., US;DONEY, DONALD ALDEN, POUGHKEEPSIE, N.Y., US;DOULIN, JOSEPH, NEWBURGH, N.Y., US;LIN, PAUL TA-CHANG, WAPPINGERS FALLS, N.Y., US;SCHIAVONE, FRANK ANTHONY, MARLBORO, N.Y., US
分类号 H01L29/78;H01L21/00;H01L21/28;H01L21/306;H01L21/3205;H01L21/3213;H01L21/336;H01L29/00;(IPC1-7):H01L21/28;H01L21/30 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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