| 摘要 |
Procede de preparation d'un film piezoelectrique en utilisant un dispositif a decharge a effet de couronne dans lequel une couche multiple de membranes (13, 15), dont l'une au moins est un film piezoelectrique sensible (13) et dont au moins une autre est la couche multiple d'une membrane associee (15) (par exemple une membrane presentant une conductance qui n'est pas inferieure a celle de la membrane sensible piezoelectrique lorsque la conductance est mesuree dans les conditions d'exposition a un champ a haute tension de la decharge a effet de couronne et dans le sens du champ de decharge), est soumise a une decharge a effet de couronne entre une paire d'electrodes (17, 21), l'une au moins de ces electrodes (21) presentant une surface texturee. |
