| 发明名称 |
VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINES AMORPHEN SILICIUMFILMES |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
DE3112604(A1) |
申请公布日期 |
1982.04.29 |
| 申请号 |
DE19813112604 |
申请日期 |
1981.03.30 |
| 申请人 |
FUTABA DENSHI KOGYO K.K. |
发明人 |
MORIMOTO,KIYOSHI;TAKAGI,TOSHINORI,PROF. |
| 分类号 |
H01L31/04;C23C14/00;H01J9/233;H01L21/203;H01L21/205;H01L31/20;(IPC1-7):23C13/04;23C13/08;01L31/18;01L21/20;01J9/233 |
主分类号 |
H01L31/04 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
