| 发明名称 |
LSI CIRCUIT CHIP INSPECTING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5769349(A) |
申请公布日期 |
1982.04.28 |
| 申请号 |
JP19810106173 |
申请日期 |
1981.07.07 |
| 申请人 |
CONTROL DATA CORP |
发明人 |
NIKORASU PURATSUTO BAN BURUNTO |
| 分类号 |
G01R31/28;G01R31/317;G01R31/3185;G06F11/22;G06F11/27 |
主分类号 |
G01R31/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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