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发明名称 PLASMA ETCHING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5767173(A) 申请公布日期 1982.04.23
申请号 JP19800141480 申请日期 1980.10.09
申请人 MITSUBISHI DENKI KK 发明人 YONEDA MASAHIRO;HINE SHIROU;KOYAMA HIROSHI
分类号 C23F4/00;H01J37/16;H01J37/32;H01L21/00;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
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