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发明名称
VORRICHTUNG ZUR ERFASSUNG DER SEKUNDAERELEKTRONEN IN EINEM RASTERELEKTRONENMIKROSKOP
摘要
申请公布号
DE3126575(A1)
申请公布日期
1982.04.22
申请号
DE19813126575
申请日期
1981.07.06
申请人
NIHON DENSHI K.K., AKISHIMA, TOKYO, JP
发明人
TAMURA, NOBUAKI;TAKASHIMA, SUSUMU, AKISHIMA, TOKYO, JP
分类号
C07D319/18;G01N23/22;H01J37/244;H01J37/26;(IPC1-7):H01J37/28;H01J37/24
主分类号
C07D319/18
代理机构
代理人
主权项
地址
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