发明名称 ISOLATING SC DEVICE USING OXYGEN DUPING
摘要
申请公布号 GB2085224(A) 申请公布日期 1982.04.21
申请号 GB19800032246 申请日期 1980.10.07
申请人 ITT INDUSTRIES LTD 发明人
分类号 H01L29/78;H01L21/02;H01L21/265;H01L21/31;H01L21/76;H01L21/762;H01L27/12;H01L29/10;H01L29/167;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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