发明名称 (A) ;FLOW TYPE OPTOACOUSTIC DETECTOR
摘要
申请公布号 JPS5764145(U) 申请公布日期 1982.04.16
申请号 JP19800140234U 申请日期 1980.09.30
申请人 发明人
分类号 H01L21/31;H01L21/205;H01L21/22;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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