发明名称 INRICHTING VOOR VERBETERDE NEUTRALISERING VAN EEN POSITIEF GELADEN IONENBUNDEL.
摘要
申请公布号 NL8104377(A) 申请公布日期 1982.04.16
申请号 NL19810004377 申请日期 1981.09.23
申请人 VARIAN ASSOCIATES INC. TE PALO ALTO, CALIFORNIE, VER. ST. V. AM. 发明人
分类号 H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/31;H01J37/07 主分类号 H01J37/317
代理机构 代理人
主权项
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