发明名称 TRANSISTOR A EFFET DE CHAMP ET SON PROCEDE DE FABRICATION
摘要 <P>TRANSISTOR A EFFET DE CHAMP, DONT LA COURSE 9 ET LE DRAIN 10 SONT REALISES A L'AIDE EN PARTIE DE LA REGION SEMICONDUCTRICE 6 DONT LE CORPS SEMICONDUCTEUR 1 ET EN PARTIE DE LA COUCHE EPITAXIALE DEPOSEE 7A, 7B, ALORS QUE LA REGION DE CANAL 11 SE SITUE AU-DESSOUS D'UN SILLON 8 CREUSE DANS LE SUBSTRAT 2. GRACE A CETTE STRUCTURE, LA LONGUEUR DE CANAL N'EST PAS TRIBUTAIRE DES VARIATIONS SE PRODUISANT DANS L'EPAISSEUR DE LA COUCHE EPITAXIALE ET LES CAPACITES PARASITES DE LA SOURCE 9 ET DU DRAIN 10 VERS LE SUBSTRAT 2 SONT PETITES. DE PLUS, UNE CONFIGURATION DE CONDUCTEURS 18 SEPAREE PAR UNE COUCHE ISOLANTE 17 DE LA COUCHE EPITAXIALE, PEUT S'ETENDRE JUSQU'AU-DESSUS DES ZONES DE CONNEXION 14, 15 DE LA SOURCE 9 ET DU DRAIN 10, CE QUI PERMET D'OBTENIR UNE COMPACITE ELEVEE. LA COUCHE EPITAXIALE 7A, 7B CONTIENT EN OUTRE DES PISTES DE CABLAGE ADDITIONNELLES, QUI PERMETTENT D'OBTENIR UNE GRANDE LIBERTE DE CONCEPTION.</P><P>APPLICATION: A LA FABRICATION DE TRANSISTORS A EFFET CHAMP.</P>
申请公布号 FR2492166(A1) 申请公布日期 1982.04.16
申请号 FR19810019069 申请日期 1981.10.09
申请人 PHILIPS GLOEILAMPENFABRIEKEN NV 发明人 HENRICUS GODEFRIDUS RAFAEL
分类号 H01L27/10;H01L21/205;H01L21/285;H01L21/336;H01L21/8242;H01L27/108;H01L29/08;H01L29/45;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78;H01L27/08;H03K19/09 主分类号 H01L27/10
代理机构 代理人
主权项
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