| 发明名称 |
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON HALBLEITERVORRICHTUNGEN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE3133548(A1) |
申请公布日期 |
1982.04.15 |
| 申请号 |
DE19813133548 |
申请日期 |
1981.08.25 |
| 申请人 |
TOKYO SHIBAURA DENKI K.K. |
发明人 |
SASAKI,YOSHITAKA |
| 分类号 |
H01L29/73;H01L21/225;H01L21/321;H01L21/331;H01L21/336;H01L21/8222;H01L21/8226;H01L27/082;H01L29/72;(IPC1-7):H01L21/90;H01L21/72 |
主分类号 |
H01L29/73 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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