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发明名称
Apparatus for enhanced neutralization of positively charged ion beam
摘要
申请公布号
GB2084792(A)
申请公布日期
1982.04.15
申请号
GB19810028356
申请日期
1981.09.18
申请人
VARIAN ASSOCIATES INC
发明人
分类号
H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/31
主分类号
H01J37/317
代理机构
代理人
主权项
地址
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