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发明名称 DEVICE FOR MEASURING ELECTRICAL PHYSICAL PARAMETERS OF MOS-STRUCTURES
摘要
申请公布号 SU920582(A1) 申请公布日期 1982.04.15
申请号 SU19802951545 申请日期 1980.07.04
申请人 PENZENSKIJ VNI T I PRIBOROSTROENIYA 发明人 MARTYASHIN ALEKSANDR I,SU;RYZHOV VIKTOR F,SU;RYABININ VALERIJ I,SU;TSYPIN BORIS V,SU
分类号 H01L21/66;G01R31/26;(IPC1-7):G01R31/26 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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