发明名称 PREPARATION OF SEMICONDUCTOR CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPS5761694(A) 申请公布日期 1982.04.14
申请号 JP19800137882 申请日期 1980.09.30
申请人 FUJITSU KK 发明人 KAWABATA YOSHIO;SHINOHARA KOUJI;NISHIJIMA YOSHINDO;FUKUDA HIROKAZU;YAMAMOTO KOOSAKU
分类号 C30B29/46;C30B11/00;C30B11/02;H01L21/02;H01L21/208;H01L21/368;H01S5/00 主分类号 C30B29/46
代理机构 代理人
主权项
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