发明名称 METHOD OF MAKING VISIBLE THE FINE STRUCTURE ON THE MONOCRYSTALS OF SEMICONDUCTOR MATERIALS OF THE GROUP A III BV BY ETCHING
摘要
申请公布号 CS213543(B1) 申请公布日期 1982.04.09
申请号 CS19810001310 申请日期 1981.02.24
申请人 HRUBY,ARNOST,CS;STEPANEK,BEDRICH,CS 发明人 HRUBY,ARNOST,CS;STEPANEK,BEDRICH,CS
分类号 H01L21/302;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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