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发明名称 METHOD OF PRODUCING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5759323(A) 申请公布日期 1982.04.09
申请号 JP19810112408 申请日期 1981.07.20
申请人 INTERN BUSINESS MACHINES CORP 发明人 HORUGERU HINKERU;YURUGEN KEMUPU;JIEORUGU KURAUSU;GERUHARUTO EI SHIYUMITSUTO
分类号 H01L21/266;H01L21/265;H01L21/316 主分类号 H01L21/266
代理机构 代理人
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