| 摘要 |
Vorrichtung zur Abscheidung mehrfacher Epitaxieschichten auf Substratscheiben, wobei auf vielen Substratscheiben gleichzeitig eine jeweilige Schicht abgeschieden wird. Die Vorrichtung besteht aus einer Anzahl gegeneinander verschiebbarer Teile eingeschlossen Schieberzungen (8, 8'), die Aufnahme (12) für die Substratscheibe haben.
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