发明名称 SLOW MOTION TABLE DEVICE
摘要
申请公布号 JPS63217290(A) 申请公布日期 1988.09.09
申请号 JP19870051400 申请日期 1987.03.06
申请人 NIPPON SEIKO KK 发明人 TAKUBO MINORU
分类号 G01B21/00;B23Q1/00;B23Q1/36;B23Q1/44;B23Q1/62;G12B5/00;H01L21/68 主分类号 G01B21/00
代理机构 代理人
主权项
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