| 发明名称 |
WERKWIJZE VOOR HET AFZETTEN VAN VUURVAST METAAL, ALSMEDE EEN VOLGENS DEZE WERKWIJZE VERKREGEN GEVORMD VOORTBRENGSEL. |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
NL8104092(A) |
申请公布日期 |
1982.04.01 |
| 申请号 |
NL19810004092 |
申请日期 |
1981.09.03 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS, INC. TE SANTA CLARA, CALIFORNIE, VER.ST.V.AM. |
发明人 |
|
| 分类号 |
C23C16/04;C23C16/08;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/768;(IPC1-7):C23C11/02;H01L21/44 |
主分类号 |
C23C16/04 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
