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发明名称 METHOD OF MAKING INTEGRATED CIRCUITS
摘要
申请公布号 GB2083948(A) 申请公布日期 1982.03.31
申请号 GB19810026192 申请日期 1981.08.27
申请人 GEC US 发明人
分类号 H01L29/78;H01L21/316;H01L21/32;H01L21/76;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/94 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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