| 发明名称 |
APPARECCHIO E PROCEDIMENTO PER LAPRODUZIONE DI MATERIALI SEMICONDUTTORI IPERPURI |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
IT8248113(D0) |
申请公布日期 |
1982.03.29 |
| 申请号 |
IT19820048113 |
申请日期 |
1982.03.29 |
| 申请人 |
DYNAMIT NOBEL AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
PIETRO SCANDOLA;ROMANO AMADUZZI;LUIGI CURATOLO |
| 分类号 |
H01L21/205;C01B33/035;C23C16/44;(IPC1-7):H01L/ |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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