| 发明名称 |
VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR GASFREIEN IONENPLATTIERUNG |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE3123332(A1) |
申请公布日期 |
1982.03.25 |
| 申请号 |
DE19813123332 |
申请日期 |
1981.06.12 |
| 申请人 |
ILLINOIS TOOL WORKS INC. |
发明人 |
W. WHITE,GERALD;CHARLES VOLKERS,JACK |
| 分类号 |
C23C14/24;C23C14/32;(IPC1-7):C23C15/00;C23C11/00;H01L21/26;H05H1/46 |
主分类号 |
C23C14/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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