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发明名称 OBJECTIVE LENS CURRENT CONTROL METHOD FOR SCAN TYPE ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPS5750756(A) 申请公布日期 1982.03.25
申请号 JP19800126812 申请日期 1980.09.12
申请人 NIPPON DENSHI KK 发明人 NORIOKA SETSUO
分类号 G01Q20/04;G01Q30/02;H01J37/21;H01J37/28;H01J37/302;(IPC1-7):H01J37/21 主分类号 G01Q20/04
代理机构 代理人
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