发明名称
摘要
申请公布号 JPS5751031(U) 申请公布日期 1982.03.24
申请号 JP19810119786U 申请日期 1981.08.12
申请人 发明人
分类号 H02H7/20;G05B9/02;H01L21/822;H01L27/04;H03K17/08;(IPC1-7):H02H7/20 主分类号 H02H7/20
代理机构 代理人
主权项
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