发明名称
摘要
申请公布号 JPS5750852(U) 申请公布日期 1982.03.24
申请号 JP19800128261U 申请日期 1980.09.08
申请人 发明人
分类号 H01L21/673;H01L21/22;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/673
代理机构 代理人
主权项
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