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经营范围
发明名称
ELECTRON BEAM EXPOSURE DEVICE
摘要
申请公布号
JPS5749900(A)
申请公布日期
1982.03.24
申请号
JP19800125782
申请日期
1980.09.10
申请人
TOKYO SHIBAURA DENKI KK
发明人
TAKIGAWA TADAHIRO;SASAKI ISAO
分类号
G21K5/04;H01L21/027
主分类号
G21K5/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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