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发明名称 DETECTION OF END POINT OF DRY ETCHING REACTION
摘要
申请公布号 JPS5747874(A) 申请公布日期 1982.03.18
申请号 JP19800121566 申请日期 1980.09.02
申请人 FUJITSU KK 发明人 INOUE MINORU
分类号 C23F4/00;C23F1/00;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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