| 摘要 |
Dispositif (10) de production automatique pour le traitement d'une pluralite de micro-plaquettes a semi-conducteurs, comprenant un rotor (15) pouvant tourner autour d'un axe sensiblement mais pas exactement horizontal, le rotor comprenant un support demontable (38) pouvant retenir une pluralite de micro-plaquettes de semi-conducteurs charge a proximite des uns des autres et une piece supplementaire servant a retenir les micro-plaquettes de semi-conducteurs dans le support lorsque celui-ci est retourne. Le dispositif comprend aussi une pluralite de buses de pulverisation (33, 35) fournissant les fluides de traitement et les gaz de sechage, et un drainage (23) en retrait pour l'extraction des fluides usages. |
