发明名称 QUARTZ REACTION TUBE
摘要
申请公布号 JPS5745336(A) 申请公布日期 1982.03.15
申请号 JP19800113149 申请日期 1980.08.18
申请人 FUJITSU KK 发明人 KAWASE NOBUO;AIGOU MASAYOSHI
分类号 B32B9/04;B01J12/00;C03B19/04;C03B19/06;C30B25/08;C30B31/10;C30B33/00;H01L21/205 主分类号 B32B9/04
代理机构 代理人
主权项
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