| 发明名称 |
VORRICHTUNG ZUM AUFSPANNEN UND FIXIEREN VON HALBLEITER-PLAETTCHEN |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
DE3120477(A1) |
申请公布日期 |
1982.03.11 |
| 申请号 |
DE19813120477 |
申请日期 |
1981.05.22 |
| 申请人 |
DISCO CO.,LTD. |
发明人 |
SEKIYA,SHINJI;MORI,TOSHIYUKI |
| 分类号 |
B24B41/06;H01L21/302;H01L21/683;(IPC1-7):B28D7/04;H01L21/68 |
主分类号 |
B24B41/06 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
