发明名称 PROCESS FOR MANUFACTURING A SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 DE2861606(D1) 申请公布日期 1982.03.11
申请号 DE19782861606 申请日期 1978.10.04
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT BERLIN UND MUNCHEN 发明人 ENDLER, WOLFGANG;WESTERMEIER, HEINZ;ZSCHAUER, KARL-HEINZ,DR.
分类号 C30B15/20;H01L21/208;H01L33/00;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 C30B15/20
代理机构 代理人
主权项
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