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发明名称
PROCESS FOR MANUFACTURING A SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
DE2861606(D1)
申请公布日期
1982.03.11
申请号
DE19782861606
申请日期
1978.10.04
申请人
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT BERLIN UND MUNCHEN
发明人
ENDLER, WOLFGANG;WESTERMEIER, HEINZ;ZSCHAUER, KARL-HEINZ,DR.
分类号
C30B15/20;H01L21/208;H01L33/00;(IPC1-7):H01L21/20
主分类号
C30B15/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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