| 发明名称 |
ELECTRON BEAM EVAPORATION DEVICE FOR EVAPORATION COATING APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2008849(B) |
申请公布日期 |
1982.03.10 |
| 申请号 |
GB19780045224 |
申请日期 |
1978.11.20 |
| 申请人 |
BALZERS AG FUER HOCHVAKUUMTECHNIK UND DUENNE SCHICHTEN |
发明人 |
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| 分类号 |
H01L21/285;H01J37/02;H01J37/305;(IPC1-7):H01J37/30;H01J37/20 |
主分类号 |
H01L21/285 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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