发明名称 HEAT-RESISTANCE PHOTOSENSITIVE MATERIAL
摘要
申请公布号 JPS5742708(A) 申请公布日期 1982.03.10
申请号 JP19800118051 申请日期 1980.08.26
申请人 NITTO DENKI KOGYO KK 发明人 YOSHIHARA MITSUO;MATSUI TAKAO
分类号 G03F7/038;C08F2/00;C08F2/48;C08F2/50;C08F299/02;C08G63/00;C08G63/685;C08G73/00;C08G73/16;C08L79/08;C09D5/00;C09D167/06;C09J4/00;G03F7/004;G03F7/032;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 G03F7/038
代理机构 代理人
主权项
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