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发明名称
摘要
申请公布号 JPS5742946(U) 申请公布日期 1982.03.09
申请号 JP19800120904U 申请日期 1980.08.25
申请人 发明人
分类号 G01N27/00;G01N27/30;G01N27/414;H01L21/339;H01L29/762;H01L29/78;(IPC1-7):G01N27/30;G01N27/46 主分类号 G01N27/00
代理机构 代理人
主权项
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