发明名称 APPARATUS FOR MECHANICAL TESTING AND REJECTING SEMICONDUCTOR DEVICES
摘要
申请公布号 SU911655(A1) 申请公布日期 1982.03.07
申请号 SU19792774329 申请日期 1979.05.31
申请人 NOVOSIBIRSKIJ ELEKTROTEKHNICHESKIJ INSTITUT 发明人 BRIKMAN ALEKSANDR I,SU;MIGIRENKO GEORGIJ S,SU;EVGRAFOV VLADIMIR N,SU;PESOTSKIJ SERGEJ V,SU
分类号 H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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