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发明名称 METHOD OF OBTAINING IMAGES IN RASTER ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号 SU911651(A1) 申请公布日期 1982.03.07
申请号 SU19802935618 申请日期 1980.06.04
申请人 MO G UNIV IM.M.V.LOMONOSOVA 发明人 RAU EDUARD I,SU;SASOV ALEKSANDR YU,SU;SPIVAK GRIGORIJ V,SU
分类号 H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/28 主分类号 H01J37/28
代理机构 代理人
主权项
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