| 发明名称 |
METHOD OF PRODUCING TANTALUM NITRIDE FILM RESISTORS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
CA905339(A) |
申请公布日期 |
1972.07.18 |
| 申请号 |
CAD905339 |
申请日期 |
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| 申请人 |
OKI ELECTRIC INDUSTRY COMPANY LIMITED |
发明人 |
TOSHIAKI KOIKEDA;SHUN KUMAGAI |
| 分类号 |
C23C14/00;(IPC1-7):C23C14/00 |
主分类号 |
C23C14/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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